摘要：本实用新型公开了一种气体分配器，在本体内设有辐射状的气体分配主管，在气体分配主管两侧错位设置气体分配支管，并沿气体分配主管向气体分配支管方向管路横截面积逐渐减小，形成树状的气体分配网络，使从气体分配网络中心的进气管通入的反应气体或蒸汽可由众多规律分布的出气管垂直均匀地吹向所覆盖的硅片表面，可实现在硅片上的均匀反应、提高反应效率、节约反应气体消耗及缩小设备体积，还可使吹扫气体容易将气体分配网络边缘位置的残留气体吹扫干净，有效防止在ALD反应中误发生CVD反应，具有提高ALD反应的产率和良率及降低成本的显著特点。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人苏艳波;赵星梅;克雷格·伯考;兰云峰;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201521013588.0
- 申请时间2015年12月09日
- 申请公布号CN205275699U
- 申请公布时间2016年06月01日
- 分类号C23C16/455(2006.01)I;
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