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    一种水冷籽晶杆

      摘要:本实用新型实施例公开了一种水冷籽晶杆,该籽晶杆用于连接籽晶夹头及籽晶,所述水冷籽晶杆由空心内管和U字形外管构成,内管和外管之间采用水密封连接;外管侧上部设有用于出水的水嘴,外管底部设置有和籽晶夹头连接的接口,外管内空腔底部中心设有内管定位固定槽,用于定位和固定内管下端;内管下端插在所述的定位固定槽内,内管侧部在高于定位固定槽上端面的一定高度开设出水孔,上述籽晶杆内管被有效定位和固定,有效解决了长籽晶杆容易振动、制造过程出水口高度不容易控制以及内管不易居中的问题,保证长晶过程顺利有效进行。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人上海晨华科技股份有限公司;
    • 发明人王维;徐炜;孙矿;
    • 地址201804 上海市嘉定区黄渡工业园区春浓路278号
    • 申请号CN201521046052.9
    • 申请时间2015年12月16日
    • 申请公布号CN205223406U
    • 申请公布时间2016年05月11日
    • 分类号C30B15/32(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I;