摘要：本实用新型公开了一种应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置，包括上盖，法兰盘，密封圈，筒体，下盖，底座，上内芯，中内芯，下内芯以及筒体内填充物活性炭，硅胶，脱脂棉和定性滤纸。其中法兰盘和下盖与筒体焊接为一体，下内芯装在筒体内并在其上填充定性滤纸，定型滤纸上填充活性炭，活性炭上再填充定型滤纸，定型滤纸上再填充脱脂棉，脱脂棉上填充定型滤纸，然后在定性滤纸上装中内芯，中内芯上装上内芯，上内芯内填充硅胶，再在上内芯上填充定型滤纸，最后在法兰盘上装密封圈和上盖并用螺栓固定。本实用新型可以对气源进行干燥除尘除油处理，适合有气浮转台和气浮运动部件的测量检测仪器，可以提高仪器精度和使用寿命。
- 专利类型实用新型
- 申请人陕西威尔机电科技有限公司;
- 发明人范厚杰;马丁;赵宝云;
- 地址710065 陕西省西安市高新区丈八二路16号
- 申请号CN201520877816.2
- 申请时间2015年11月06日
- 申请公布号CN205216419U
- 申请公布时间2016年05月11日
- 分类号B01D46/00(2006.01)I;B01D53/26(2006.01)I;
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