摘要:一种低成本曝光机晒架,涉及到曝光机技术领域。解决现有曝光机晒架结构复杂,加工制造成本高,容易出现微小缝隙,从而无法完成抽真空甚至整个晒架报废的问题,包括有铰接的上层晒架与下层晒架,上下层晒架之间设有气弹簧,使上层晒架与下层晒架能活动的打开与闭合,上层晒架由上玻璃,四根固定在上玻璃顶面四个角落的弹簧和上框架组成,下层晒架由下框架与固定在下框架中心的下玻璃组成,上下层晒架闭合后,上层晒架上的弹簧提供的弹力,会使上玻璃紧压下玻璃,此时上下玻璃为稳定夹紧状态,本实用新型使用机械式夹紧方式代替了抽真空夹紧,避免了抽真空失效或者漏气的情况,能保证在曝光过程中,底片与镀铜板在晒架内的位置保持不变,且使晒架的加工制造成本大大降低,零件替换以及维修更加方便,操作更加简洁。
- 专利类型实用新型
- 申请人西华大学;
- 发明人周延;蔡长韬;杨韬;古小平;马小茜;
- 地址610039 四川省成都市金牛区土桥金州路999号
- 申请号CN201520802306.9
- 申请时间2015年10月19日
- 申请公布号CN205121157U
- 申请公布时间2016年03月30日
- 分类号G03F7/20(2006.01)I;