摘要:本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪装置,包括有分为上、下两层的小推车,氦质谱检漏仪的仪器主机置于小推车上层,机械泵置于小推车下层。本实用新型机械泵与仪器主机分开设置,可减少机械泵对质谱室的影响。
- 专利类型实用新型
- 申请人安徽皖仪科技股份有限公司;
- 发明人朱长平;
- 地址230088 安徽省合肥市高新区天达路71号华亿科技园B幢皖仪大厦
- 申请号CN201520727047.8
- 申请时间2015年09月18日
- 申请公布号CN205091101U
- 申请公布时间2016年03月16日
- 分类号G01M3/20(2006.01)I;