摘要：一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，包括炉体(1)，所述炉体(1)由炉座架支撑，一端设有炉盖(9)，另一端设有炉底板，所述炉体(1)炉壁上设置有抽气口(2)和电弧源(3)，炉体(1)内壁上设置有布气管(4)，所述离子镀膜设备还包括用于安装不锈钢长管的工件架和驱动装置，所述工件架设置在所述炉体内侧，所述驱动装置位于所述炉体(1)外侧，与所述工件架相连，用于驱动所述工件架上不锈钢长管转动；所述炉体(1)竖向设置，所述抽气口(2)设于所述炉体(1)一侧炉壁的中部，所述电弧源(3)分几列轴向排布在所述抽气口(2)对侧的炉壁上，所述布气管(4)设置在相邻两列电弧源(3)之间。本实用新型可适于不锈钢长管如6M长不锈钢管镀膜的离子镀膜设备。
- 专利类型实用新型
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;潘锐华;冯小庭;
- 地址523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 申请号CN201520710312.1
- 申请时间2015年09月14日
- 申请公布号CN204939599U
- 申请公布时间2016年01月06日
- 分类号C23C14/32(2006.01)I;
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