摘要：本实用新型涉及一种电感耦合等离子体的自动稳定控制装置，包括压控晶体振荡器、功率放大器和功率分配器，所述压控晶体振荡器、所述功率放大器和所述功率分配器依次电连接，所述功率分配器的输出端连接有功率模块单元，所述功率模块单元的输出端连接有功率合成器，所述功率合成器的输出端连接有定向耦合器，所述定向耦合器的输出端连接有增益控制单元，所述增益控制单元的输出端与所述压控晶体振荡器相连接。本实用新型涉以晶体管为功率器件，采用低电压供电，结构完整，体积小，具有理想的功率强度和稳定性。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京海光仪器有限公司;
- 发明人杜江;张德元;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M3楼
- 申请号CN201520648203.1
- 申请时间2015年08月26日
- 申请公布号CN204887663U
- 申请公布时间2015年12月16日
- 分类号H05H1/24(2006.01)I;
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