摘要：本实用新型涉及一种电感耦合等离子炬的自动阻抗匹配装置，包括依次电连接的高频功率输入单元、阻抗检测器、鉴相器、调整阻抗电容器和控制器，调整阻抗电容器并联有调频电容器，调整阻抗电容器和调频电容器之间连接有高频线圈，控制器与阻抗检测器之间连接有第一执行机构，控制器与调频电容器之间连接有第二执行器，阻抗检测器和鉴相器分别监测高频功率输入单元的输出端的阻抗绝对值和相值并发送至控制器，控制器根据采集到的阻抗绝对值和相值数据发送指令到第一执行器和第二执行器，第一执行器和第二执行器分别调控调整阻抗电容器和调频电容器的电容值以接近标准值。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京海光仪器有限公司;
- 发明人杜江;张德元;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M3楼
- 申请号CN201520648202.7
- 申请时间2015年08月26日
- 申请公布号CN204887662U
- 申请公布时间2015年12月16日
- 分类号H05H1/24(2006.01)I;
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