摘要：本实用新型为一种气体流量控制系统，由气阀(1)、过滤器(2)、三通A(3)、稳压阀(4)、三通B(5)、质量流量计(6)、三通C(7)、背压阀(8)、单向阀(9)、测压元件A(10)、测压元件B(11)及测压元件C(12)组成，使用时，打开进气阀(1)，分别通过稳压阀(4)和背压阀(8)控制质量流量计(6)入口和出口的压力，保证质量流量计(6)前后压差稳定。该装置结构简单、易于操作、流量控制稳定。
- 专利类型实用新型
- 申请人天津市鹏翔科技有限公司;
- 发明人乔冠东;
- 地址300384 天津市西青区新技术产业园区海泰绿色产业基地M8-1-302
- 申请号CN201520632607.1
- 申请时间2015年08月17日
- 申请公布号CN204816454U
- 申请公布时间2015年12月02日
- 分类号B01J4/02(2006.01)I;
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