摘要：本实用新型涉及一种三点支撑三点换位工件架，包括自转电机、自转传动机构、三点换位电机以及换位机构，其中自转电机的输出端经自转传动机构与工件架传动连接，三点换位电机驱动换位机构转动换位；换位机构包括三点换位升降滚珠丝杆、升降盘、导向机构、支撑柱、固定盘以及换位支杆，其中换位升降滚珠丝杆的底端通过底脚固定于安装底盘上，顶端与升降盘抵接，导向机构竖直设置，穿置于升降盘中，升降盘上布置多个用于安装支撑点固定盘的支撑柱，安装支撑点固定盘上设置三个换位支杆。本实用新型针可实现一次成膜，不需要多次镀膜，提高工作效率的同时避免了多次镀膜对膜表面的损伤，提高了样品镀膜合格率，间接保护了操作人员，避免造成人身损害。
- 专利类型实用新型
- 申请人沈阳腾鳌真空技术有限公司;
- 发明人慈连鳌;
- 地址110101 辽宁省沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号
- 申请号CN201520493199.6
- 申请时间2015年07月09日
- 申请公布号CN204779793U
- 申请公布时间2015年11月18日
- 分类号C23C14/50(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;
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