摘要：本实用新型涉及一种旋转式圆柱形磁控靶，具有圆柱形靶材和空心双轴磁流体，圆柱形靶材一端安装在空心双轴磁流体的外轴上，圆柱形靶材另一端设有封盖；圆柱形靶材内部设有极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件，极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件一端安装在空心双轴磁流体的内轴上，另一端固定在封盖上，空心双轴磁流体的外轴与电机通过传动装置转动连接；空心双轴磁流体的内轴固定在设备工作台的台板上。本实用新型具有膜厚均匀、性能稳定和靶材利用率高(可达到75％以上)等特点，体积小，适合实验室使用、适合单人操作，提高了沉积薄膜的均匀性。
- 专利类型实用新型
- 申请人沈阳腾鳌真空技术有限公司;
- 发明人慈连鳌;
- 地址110101 辽宁省沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号
- 申请号CN201520490462.6
- 申请时间2015年07月09日
- 申请公布号CN204779789U
- 申请公布时间2015年11月18日
- 分类号C23C14/35(2006.01)I;
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