摘要:本实用新型提供了一种精密对位平台,所述精密对位平台包括:下基板和位于所述下基板之上的上平台;第一丝杠和第一支撑平台;第二丝杠和第二支撑平台;第三丝杠和第三支撑平台;第四支撑平台;所述第一丝杠、所述第二丝杠和所述第三丝杠均设置在所述下基板上;所述第一丝杠和第三丝杠垂直所述第二丝杠,所述第一支撑平台、第二支撑平台和第三支撑平台呈等腰直角三角形布置;所述第四支撑平台包括:下石板和设置在所述下石板之上的上石板,所述下石板固定在所述下基板上,所述上石板固定连接所述上平台。本实用新型提高了整个系统的运行精度及负载能力,简化了精密对位平台的整体结构,降低了制作安装难度和成本。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京卓立汉光仪器有限公司;
- 发明人杜勉珂;刘瑞强;
- 地址101102 北京市中关村科技园区通州园金桥产业基地环科中路16号联东U谷中试区68号B座
- 申请号CN201520515188.3
- 申请时间2015年07月16日
- 申请公布号CN204771596U
- 申请公布时间2015年11月18日
- 分类号B23Q1/25(2006.01)I;