摘要：本实用新型公开了一种直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，包括安装底座和扫描台面，所述扫描台面两侧分别设置有纵滑块，所述安装底座上设置有与纵滑块一一对应的纵滑轨，所述扫描台面的底面为倾斜面，扫描台面的底面上设置有若干斜滑轨，安装底座的上平面上设置有若干横滑轨，扫描台面和安装底座之间设置有一个楔形滑块，该楔形滑块的上端面上设置有与各个斜滑轨相配合的斜滑槽，楔形滑块的底面设置有与各个横滑轨相配合的横滑槽，所述安装底座上还设置有一套连接楔形滑块的驱动装置，该驱动装置驱动楔形滑块沿横滑轨来回滑动，楔形滑块通过与斜滑轨滑动配合的斜滑槽带动扫描台面沿纵滑轨上下滑动，实现了扫描台面可升降的技术效果。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州微影光电科技有限公司;
- 发明人王友车;张国龙;朱亮;薛业保;吴斌;成超;
- 地址215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司
- 申请号CN201520476222.0
- 申请时间2015年07月03日
- 申请公布号CN204759018U
- 申请公布时间2015年11月11日
- 分类号G03F7/20(2006.01)I;
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