摘要：本实用新型提供了一种储片盒换气歧管，竖直安装于开门机构上。所述一种储片盒换气歧管设置进气孔和出气孔，所述出气孔与竖直方向具有预定的倾斜角度，所述出气孔与进气孔相通。本实用新型通过进气孔向歧管通入氮气等气体，并通过出气孔向储片盒的腔内匀速注入氮气等气体，降低储片盒腔内的含氧量，为储片盒营造一个低氧、洁净的微环境。另外由于在换气过程中，在整个纵向都有出气孔，因此形成的层流气流可以最充分的排走储片盒内的空气，并且不容易卷起储片盒内部的颗粒；本实用新型的歧管能够有效防止储片盒门的开门机构将门打开时污染内部的微环境。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人孙晋博;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201520248103.X
- 申请时间2015年04月22日
- 申请公布号CN204741007U
- 申请公布时间2015年11月04日
- 分类号H01L21/673(2006.01)I;
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