摘要：本实用新型公开了一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，包括有与低压检测工件的内部密封连接的真空管道，真空管道的另一端连接辅助真空泵，真空管道上依次设有三通、四通、手动挡板阀、抽空稳压阀，所述的三通、四通与真空管道的内部连通，三通的另一端设有真空计，四通的另两端分别设有手动放气阀、吸枪，吸枪的吸枪端口深入在四通的中部，吸枪与氦质谱检漏仪连接。本实用新型实现了低压工件的氦质谱泄漏检测，可操作性强，检测精度较高，系统实现成本较低。
- 专利类型实用新型
- 申请人安徽皖仪科技股份有限公司;
- 发明人宋怀双;
- 地址230088 安徽省合肥市高新区天达路71号华亿科技园B幢皖仪大厦
- 申请号CN201520316622.5
- 申请时间2015年05月15日
- 申请公布号CN204666315U
- 申请公布时间2015年09月23日
- 分类号G01M3/20(2006.01)I;
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