摘要：本发明公开了一种盘状物夹持装置，在基体的周缘设置多个支撑销，支撑销由行程变换机构驱动做升降运动，通过卡爪和支撑销相互配合，在取放盘状物时，支撑销做上升运动，远离卡盘，保证机械手末端执行器的取放片动作，在盘状物处于工艺状态时，支撑销做下降运动，贴合卡盘，避免硅片的背面受到污染，本发明合理的控制盘状物与卡盘之间的距离，具有结构简单、动作控制方式便捷可靠、可与各类工艺处理腔体相兼容的优点。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王锐廷;张豹;姬丹丹;王浩;李伟;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201520135875.2
- 申请时间2015年03月10日
- 申请公布号CN204481015U
- 申请公布时间2015年07月15日
- 分类号H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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