摘要:本实用新型公开了一种离子源组件的接气装置,包括:固定部,所述固定部设置于质谱仪真空腔体与离子源之间,离子源固定在所述固定部一侧;所述固定部内设有与外部相通的通气孔一;离子源靠近固定部处设有与通气孔一对应连接的通气孔二;气管接头二,所述气管接头二位于所述离子源外部,与所述通气孔二连通;所述通气孔一与所述通气孔二之间设有密封件;气管,位于所述离子源的进样针组件顶端,与所述气管接头二连接。本实用新型的离子源组件的接气装置,离子源各组件的气流输入接口设置于真空腔体一侧保持固定,离子源的打开与关闭不会对气流输入造成影响,避免了气管随着离子源开关而拉扯可能造成的风险,安全、可靠。
- 专利类型实用新型
- 申请人江苏天瑞仪器股份有限公司;
- 发明人张佶;潘翔;张轶鸣;戴丽;周立;
- 地址215347 江苏省苏州市昆山市玉山镇中华园西路1888号天瑞产业园
- 申请号CN201520112666.6
- 申请时间2015年02月16日
- 申请公布号CN204391043U
- 申请公布时间2015年06月10日
- 分类号H01J49/10(2006.01)I;H01J49/04(2006.01)I;G01N30/72(2006.01)I;