摘要：本实用新型公开了一种蒸发镀膜仪，包括机架，机架上设有真空室，真空室内设有载物台；载物台设置在真空室的上腔体中，真空室的下腔体中设有电蒸发系统，电蒸发系统包括陶封电极，陶封电极包括公共电极及一个以上的负极，公共电极与负极之间连接有钨体。本实用新型通过钨体，依靠电蒸发系统和真空腔室，采用从下往上的蒸发方式，大大的提高了蒸发的效率，可简单并有效的满足蒸镀要求。
- 专利类型实用新型
- 申请人合肥科晶材料技术有限公司;
- 发明人邾根祥;朱沫浥;汪震;江晓平;
- 地址230031 安徽省合肥市长江西路669号华源实业园
- 申请号CN201420843031.9
- 申请时间2014年12月25日
- 申请公布号CN204369974U
- 申请公布时间2015年06月03日
- 分类号C23C14/26(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
