摘要:本实用新型公开了一种自由基激发装置,包括:放电装置,其用于沿面放电激发空气产生自由基,并伴随所述自由基的产生发出紫外光;光传导装置,其光传导输入端设置在所述放电装置的出光侧;光检测装置,其包括光采集端,所述光采集端设置在所述光传导装置的光传导输出端;提示装置,其与所述光检测装置连接;其中,所述光传导装置用于将所述放电装置发出的所述紫外光传导至所述光检测装置,所述光检测装置的所述光采集端检测所述光传导输出端输出的紫外光,并生成相应的检测信号,所述提示装置用于根据所述检测信号输出对应的指示信息。本实用新型的技术方案使所述自由基激发装置的工作状态能够被监控,并及时提醒操作人员故障状态。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京同方洁净技术有限公司;
- 发明人董家忠;舒庆;
- 地址100083 北京市海淀区王庄路1号清华同方科技广场B座21/22层
- 申请号CN201420785037.5
- 申请时间2014年12月11日
- 申请公布号CN204338144U
- 申请公布时间2015年05月20日
- 分类号B01J19/08(2006.01)I;G01M99/00(2011.01)I;