摘要:本实用新型公开了电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括:基座,所述基座具有待密封封口,且具有第一腔室及第二腔室;具有前后伸缩部件的动力源装置;滑动系统;封闭装置等;本实用新型采用开合结构,通过开合来实现静态和动态真空,并且开启时,进气量很小,满足检测需要。同时此结构简单,可通过软件控制,运动顺畅,更适合于仪器整体化设计,装配简单,智能化程度高,满足高真空要求等。
- 专利类型实用新型
- 申请人江苏天瑞仪器股份有限公司;
- 发明人应刚;孙克强;丁志国;周立;
- 地址215347 江苏省苏州市江苏省昆山市玉山镇中华园西路1888号天瑞产业园
- 申请号CN201420661275.5
- 申请时间2014年11月07日
- 申请公布号CN204114169U
- 申请公布时间2015年01月21日
- 分类号F16K1/00(2006.01)I;F16K1/32(2006.01)I;F16K31/122(2006.01)I;F16K41/02(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I;