摘要:本实用新型成像窗口,包括:衬底,在所述衬底上镀有氮化硅膜;所述氮化硅膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸相同;通孔,多个所述通孔贯穿设置在所述氮化硅膜上;沟槽,所述沟槽设置在所述衬底上,所述沟槽贯穿所述衬底;其中所述沟槽为一倒置的正四棱台空穴结构,底面开口位于所述衬底上部、顶面开口位于所述衬底下部;所述沟槽的顶面的位置与多个所述通孔的位置相对应。本实用新型成像窗口使创口具有高亲水性,成为生物和湿细胞的理想承载体,可以实现TEM、SEM、AFM、XPS、EDX的同一区域的交叉配对表征。同时,在高透射率基础上,获得超大视野范围。
- 专利类型实用新型
- 申请人上海纳腾仪器有限公司;
- 发明人王晟;
- 地址201616 上海市松江区小昆山镇秦安街18号A区3号房H座
- 申请号CN201420468643.4
- 申请时间2014年08月19日
- 申请公布号CN204087839U
- 申请公布时间2015年01月07日
- 分类号G21K7/00(2006.01)I;