摘要：本实用新型氮化硅薄膜窗口，包括：衬底，在所述衬底上镀有氮化硅膜；所述氮化硅膜的形状和尺寸与所述衬底的形状和尺寸相同；观测沟槽，多个所述观测沟槽设置在所述衬底上，所述观测沟槽贯穿所述衬底；标记沟槽，所述标记沟槽设置在所述衬底上，所述标记沟槽贯穿所述衬底；其中所述观测沟槽及所述标记沟槽为一倒置的正四棱台空穴结构，底面开口位于所述衬底上部、顶面开口位于所述衬底下部。本实用新型氮化硅薄膜窗口实现了保证软X射线高透过率的同时，也保证了较好的应力。同时可以实现多样品的测量，对比效果更好。
- 专利类型实用新型
- 申请人上海纳腾仪器有限公司;
- 发明人王晟;
- 地址201616 上海市松江区小昆山镇秦安街18号A区3号房H座
- 申请号CN201420467096.8
- 申请时间2014年08月19日
- 申请公布号CN204087838U
- 申请公布时间2015年01月07日
- 分类号G21K7/00(2006.01)I;G01N23/04(2006.01)I;
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