摘要:本实用新型公开了一种光学定位测量系统,包括激光、显微物镜、准直透镜、反射片、载物台、反射镜、基准反射镜、会聚成像透镜组、检测器、数据处理器和计算机,所述激光的输出端依次穿过所述显微物镜和所述准直透镜射向所述反射片,所述反射片的光源射向所述反射镜,所述反射镜安装于所述载物台上,位于所述反射片的一侧,所述基准反射镜位于所述会聚成像透镜组,所述检测器安装于所述会聚成像透镜组的上方,所述检测器的信号输出端与所述数据处理器的信号输入端连接,所述数据处理器的信号输出端与所述计算机的信号输入端连接。本实用新型设计一种结构简单的光学定位测量系统,可以通过测量将结果反馈到计算机上显示,替换了原有的测量装置,其性能较为稳定,使用寿命较长。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京普瑞微纳科技有限公司;
- 发明人雷枫;李少博;问孝明;
- 地址100080 北京市海淀区中关村东路95号8号楼415室
- 申请号CN201420114485.2
- 申请时间2014年03月14日
- 申请公布号CN204043683U
- 申请公布时间2014年12月24日
- 分类号G01D5/26(2006.01)I;