摘要：本实用新型公开了一种真空助润装置，该真空助润装置包括：真空泵、通气管路、三通阀和助润池；其中，真空泵经所述通气管路和所述三通阀与所述助润池连通。该装置通过使真空泵经通气管路和三通阀与助润池连通，可使助润池内抽真空，在真空状态与快速进入的空气配合下对测试的膜进行浸润，具有浸润效率高，浸润效果好，提高测试精度的优点。
- 专利类型实用新型
- 申请人贝士德仪器科技（北京）有限公司;
- 发明人柳剑峰;
- 地址100193 北京市海淀区上地东北旺中路东馨园小区9号4单元602
- 申请号CN201420148359.9
- 申请时间2014年03月28日
- 申请公布号CN203908833U
- 申请公布时间2014年10月29日
- 分类号G01N1/28(2006.01)I;
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