摘要：本实用新型公开了一种快动探针二级传动系统，包括一级传动系统、二级传动系统、探针系统、交换装置、真空闸板阀、控制系统；一级传动系统和二级传动系统相连，探针系统安装在二级传动系统上；一级传动系统推动探针系统进入真空室指定位置；二级传动系统推动探针系统由真空室指定位置进入等离子体边界；交换装置用于维护探针头；真空闸板阀用于隔断真空室和快动探针系统之间的真空环境；控制系统用于对整个快动探针二级传动组件进行自动化控制。本实用新型能够通过控制系统实现快速和自动控制，在不影响其他窗口诊断的情况下，实现探针头的维护，是托克马克装置较为理想的诊断系统。
- 专利类型实用新型
- 申请人合肥聚能电物理高技术开发有限公司;
- 发明人李波;闫朝辉;吴杰峰;徐朝胜;刘志宏;
- 地址230031 安徽省合肥市董铺岛
- 申请号CN201420227053.2
- 申请时间2014年05月05日
- 申请公布号CN203869704U
- 申请公布时间2014年10月08日
- 分类号G01D11/00(2006.01)I;
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