摘要：本实用新型公开了一种硅片支撑脚装置，包括安装在半导体工艺设备硅片传送系统中硅片存储台上端的环形支撑环，安装在支撑环圆周上的支撑硅片的若干支撑脚，其特征在于，所述支撑脚为柱形，其上端设有硅片支撑面，其下端与所述支撑环连接；所述支撑环的内径小于由所述若干支撑脚的所述硅片支撑面内侧所围成的圆的直径。本实用新型通过减少支撑脚的水平方向长度，使得支撑环的外径得以缩小，从而减小了存储台的占地面积，并可避免硅片在因偏差滑出支撑脚装置时从支撑环的内径处落地破碎。具有结构简单、易实现、可节省设备占地面积并降低硅片破损率的显著特点。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人李广义;赵宏宇;徐俊成;孙文婷;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201420211796.0
- 申请时间2014年04月28日
- 申请公布号CN203859107U
- 申请公布时间2014年10月01日
- 分类号H01L21/687(2006.01)I;
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