摘要：本实用新型涉及一种石墨盘，尤其是一种改善内圈波长均匀性及拉近各圈波长均值的石墨盘，属于MOCVD用石墨盘的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述改善内圈波长均匀性及拉近各圈波长均值的石墨盘，包括盘体及设置于所述盘体内若干均匀分布的凹盘位；所述凹盘位包括内圈盘位及位于所述内圈盘位外圈的外圈盘位；所述内圈盘位及外圈盘位均包括第一台阶、位于第一台阶下方的第二台阶及位于第二台阶下方的弧形底；所述内圈盘位第二台阶的高度为40~100μm，所述外圈盘位的第二台阶的高度比内圈盘位第二台阶的高度低5~25μm。本实用新型结构紧凑，能缩小各圈波长宽度并改善内圈均匀性，适应范围广，安全可靠。
- 专利类型实用新型
- 申请人江苏新广联科技股份有限公司;
- 发明人钟玉煌;姜红苓;田淑芬;
- 地址214192 江苏省无锡市锡山区锡山经济开发区团结北路18号
- 申请号CN201420009329.X
- 申请时间2014年01月07日
- 申请公布号CN203794982U
- 申请公布时间2014年08月27日
- 分类号C23C16/18(2006.01)I;
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