摘要：揭示了一种半导体工艺气路显示装置。该装置包括面板和设置在面板上的气路模拟图，所述气路模拟图包括：线路，用于表示输送气体的管路；指示灯，设置在线路上，用于表示控制管路气体流通的对应电磁阀的通断状态；数字显示模块，设置在线路上，用于显示对应管路的气体压力和/或气体流量。通过采用设置在面板上的气路模拟图来显示电磁阀的实际通断状态、管路的气体压力以及气体流量，便于监视气路状态，造价低廉，使用简单。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人慕晓航;张海轮;卢言晓;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201320881824.5
- 申请时间2013年12月30日
- 申请公布号CN203746799U
- 申请公布时间2014年07月30日
- 分类号H01L21/00(2006.01)I;
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