摘要：本实用新型涉及半导体领域，具体涉及一种尾气冷却装置，该装置包括：冷却外罩、尾气输送管道、障碍物，其中：障碍物安装在尾气输送管道中。本实用新型解决了由于冷却装置比较短小，加之尾气气流速度快，因此热交换效率低，实际冷却效果不好的问题。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人卢言晓;董金卫;杨帅;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201320844137.6
- 申请时间2013年12月19日
- 申请公布号CN203744772U
- 申请公布时间2014年07月30日
- 分类号F28D7/10(2006.01)I;F28F9/24(2006.01)I;
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