摘要：本实用新型涉及半导体立式热处理设备技术领域，尤其涉及一种炉门控制机构。该炉门控制机构的升降气缸通过导向轴与炉门连接，旋转气缸通过摆杆机构与炉门连接，限位机构用于限制炉门的升降和旋转的位置。本实用新型的炉门控制机构通过升降气缸控制炉门的升降，通过旋转气缸控制炉门的旋转，通过导向轴承担径向倾覆力，使机构更加稳定，通过限位机构的设置使炉门实现精确开闭，其具有结构简单，稳定可靠的特点，可以精确方便地控制炉门的运动过程，节约成本，提高了工作效率，同时可以进一步优化微环境的洁净度。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张敏亮;林欣家;郝琪;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201320859115.7
- 申请时间2013年12月24日
- 申请公布号CN203744726U
- 申请公布时间2014年07月30日
- 分类号F27D1/18(2006.01)I;
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