摘要：本实用新型涉及设备安装技术领域，尤其涉及一种炉体装卸移动装置。该炉体装卸移动装置包括支架、中间输送架、前输送架、脚轮和定位机构，支架顶部的中间输送架及与中间输送架连接的前输送架上设置滚动件，在支架的底部设置脚轮和支架的一侧设置定位机构，在炉体装卸时，可将支架推至半导体扩散设备的一侧，前输送架插入半导体扩散设备中，并通过定位机构将支架定位好后，可通过滚动件方便地将炉体移出或移入半导体扩散设置中，进而方便了半导体扩散设备中炉体的安装和拆卸，提高了工作效率。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人林欣家;郝琪;董金卫;谭瑞雷;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201320883575.3
- 申请时间2013年12月30日
- 申请公布号CN203740453U
- 申请公布时间2014年07月30日
- 分类号B65G13/00(2006.01)I;B65G13/12(2006.01)I;
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