摘要:本实用新型公开一种X荧光测厚仪的电动样品台,包括XY轴定位组件、Z轴定位组件、样品台板和底板,Z轴定位组件安装在底板上,XY轴定位组件顶部安装有样品台板,还包括控制器,Z轴定位组件包括Z轴立板、Z轴线性滑轨、滑板导向滑块、Z轴伺服丝杠、Z轴伺服电机、Z轴滑板组件、Z轴轴承座、Z轴开关连接导轨、两个Z轴光电开关、Z轴限位感应片,滑板导向滑块与Z轴线性滑轨滑动连接,Z轴滑板组件靠近Z轴开关连接导轨的一侧设有Z轴限位感应片,Z轴滑板组件顶部设有XY轴定位组件,XY轴定位组件顶部设有样品台板。可三轴联动调节被测物品与X射线管之间的距离,结构合理紧凑,稳定性强,采用光电感应定位,控制精度高,定位精准。
- 专利类型实用新型
- 申请人上海优特化工有限公司;
- 发明人宋涵华;
- 地址201800 上海市嘉定区迎园路400号
- 申请号CN201320846406.2
- 申请时间2013年12月20日
- 申请公布号CN203704891U
- 申请公布时间2014年07月09日
- 分类号G01B15/02(2006.01)I;