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    硅片烘干机

      摘要:本实用新型公开了一种硅片烘干机,包括支架,支承于支架上的烘干腔体,所述烘干腔体左右两侧设置有硅片篮进口与硅片篮出口,在所述支架上还设置有贯穿硅片篮进口与硅片篮出口的滑轨,在所述支架上还可移动地支承有与滑轨平行的拉杆,在所述拉杆上铰支有推送爪,所述拉杆由往复直线运动机构驱动。该硅片烘干机不仅能满足每一生产节拍输出多个硅片篮的烘干要求,而且各硅片篮烘干输出后具有确定的位置。 
    • 专利类型实用新型
    • 申请人上海思恩电子技术(东台)有限公司;
    • 发明人倪加乐;滕明;顾小兰;
    • 地址224200 江苏省盐城市东台市城东新区东进大道48号
    • 申请号CN201420010716.5
    • 申请时间2014年01月09日
    • 申请公布号CN203687556U
    • 申请公布时间2014年07月02日
    • 分类号F26B15/12(2006.01)I;F26B25/00(2006.01)I;F26B25/06(2006.01)I;