摘要：本实用新型为用于高纯锗烷气中微量杂质分析的氦离子化气相色谱仪，其特征在于：所述的氦离子化气相色谱仪包括色谱柱箱、温控系统、信号采集处理系统和尾气处理系统，所述的信号采集系统包括氦离子化检测器和色谱柱工作站，所述的温控系统实现各个色谱柱和检测器的独立控温，并且控制色谱柱温度按照时间程序升温，所述色谱柱工作站的结构包括三个切换阀、三个色谱柱、四个针阀和三个载气气路，所述的三个切换阀为一个十通阀和两个六通阀，所述的氦离子化检测器与色谱柱工作站的线路连接。本实用新型针对高纯锗烷气中微量杂质进行分析，通过氦离子化检测器高灵敏度实现ppb级别杂质分析，实现一次进样操作即完成对锗烷杂质的全分析。
- 专利类型实用新型
- 申请人上海华爱色谱分析技术有限公司;
- 发明人庄鸿涛;郁光;方华;
- 地址200233 上海市徐汇区田林十村37号446室
- 申请号CN201320818912.0
- 申请时间2013年12月13日
- 申请公布号CN203672844U
- 申请公布时间2014年06月25日
- 分类号G01N30/02(2006.01)I;G01N30/20(2006.01)I;G01N30/60(2006.01)I;
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