摘要：本实用新型公开了一种针对气体质量流量计内部的清洗装置，包括清洗气源、连通清洗气源的清洗管路，其特征在于，所述清洗管路中设有清洗接口和控制接口；其中，所述清洗接口之间在清洗状态时连通被清洗的气体质量流量计，所述控制接口之间连通一气体质量流量控制器，所述清洗管路的尾端连通清洗气体回收装置；所述气体质量流量控制器电连接计算机。此离线式设计的清洗装置，可实行批量清洗，提高清洗效率；通过计算机控制气体质量流量控制器实现清洗自动控制，使清洗质量得到有效保障，并大为节约清洗气体的使用量。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人杨宇;蒋兴东;赵迪;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201320889826.9
- 申请时间2013年12月31日
- 申请公布号CN203642980U
- 申请公布时间2014年06月11日
- 分类号G01F15/12(2006.01)I;
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