摘要：本实用新型公开了一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐渐减小。本实用新型提供的一种换热器均流装置，改善半导体设备微环境内部流场的均匀性，使流通换热器的气流均流，提高换热器的使用效率，具有占用空间小、均流效果好、结构设计简单和具有可调性等优点。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人宋新丰;王丽荣;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201320891783.8
- 申请时间2013年12月31日
- 申请公布号CN203642774U
- 申请公布时间2014年06月11日
- 分类号F28F9/22(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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