摘要：本实用新型涉真空镀膜测试技术领域，具体涉及真空镀膜在线测厚仪，包括发光部件，感应光线强度并转变为电信号的感光部件，控制发光部件以及感光部件工作、实时接收并处理感光部件所传输的电信号并输出的控制模块，机架，电源接口，以及通讯接口；机架包括机身以及贯穿机身的测试槽，发光部件以及感光部件设置于机身上并分别对应设置于测试槽的两侧，控制模块设置于机身上，电源接口以及通信接口设置于机身上。片状材料经过镀膜之后随即置入真空镀膜在线测厚仪的测试槽，可通过与真空镀膜在线测厚仪的通讯接口连接的人机交互设备和/或计算机监控系统实时检测和/或记录片状材料的膜层厚度，可以及时了解镀膜质量并针对质量问题及时调整镀膜工艺。
- 专利类型实用新型
- 申请人深圳市林上科技有限公司;
- 发明人刁雄辉;
- 地址518000 广东省深圳市宝安区五区新安一路南天辉商厦4楼407房、408房
- 申请号CN201320764773.8
- 申请时间2013年11月27日
- 申请公布号CN203587061U
- 申请公布时间2014年05月07日
- 分类号G01B11/06(2006.01)I;
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