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一种真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构

　　摘要：一种真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构，所述的抽气系统包括真空镀膜机的镀室抽气口及外接的高真空抽气管道（9），高真空抽气管道（9）中设有高真空阀（10），其特征是：所述的高真空抽气管道（9）中设有深冷井（7），深冷井（7）设在镀室抽气口至高真空抽气管道中的高真空阀（10）之间，用深冷井阀(8)与高真空抽气管道（9）隔离，低温水汽捕集器设在深冷井（7）内。本实用新型为节能的、能获得高洁净真空的、更合理的真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构。

专利类型实用新型
申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
发明人李志荣;李志方;罗志明;李秋霞;
地址523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
申请号CN201320206954.9
申请时间2013年04月22日
申请公布号CN203530422U
申请公布时间2014年04月09日
分类号C23C14/56(2006.01)I;F04B39/16(2006.01)I;B01D5/00(2006.01)I;B01D53/26(2006.01)I;