• 首页
  • 装备资讯
  • 热点专题
  • 人物访谈
  • 政府采购
  • 产品库
  • 求购库
  • 企业库
  • 品牌排行
  • 院校库
  • 案例·技术
  • 会展信息
  • 教育装备采购网首页 > 知识产权 > 专利 > CN203481202U

    芯片粘合工作台

      摘要:实用新型公开了一种芯片粘合工作台,包括底座,所述底座顶部设置有与芯片形状和大小对应的定位槽,所述定位槽的底板开设若干真空吸附小孔,若干真空吸附小孔通过一个共同连通的真空腔连接抽真空装置。所述定位槽的至少一个侧壁设置为向底板收缩的斜坡。所述定位槽的底板各边的尺寸比芯片对应边的尺寸大0.10~0.20mm,所述定位槽的侧壁与底板的夹角为50°~70°。所述底座下部设置与若干真空吸附小孔连通的真空腔,真空腔的一侧设置带有控制开关的真空泵。本实用新型具有定位精确、键合过程中物料不变形、键合过程不发生物料位移、具有自我调整功能的优点。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人江阴迪林生物电子技术有限公司;
    • 发明人白向阳;
    • 地址214434 江苏省无锡江阴市砂山路85号B4室
    • 申请号CN201320557129.3
    • 申请时间2013年09月09日
    • 申请公布号CN203481202U
    • 申请公布时间2014年03月12日
    • 分类号H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;