摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种热偶升降装置，包括热偶支撑架，调整热偶支撑架高度的升降机构，支撑升降机构的支撑腿，所述支撑腿与升降机构均连接在支撑动平台上，所述支撑腿为三个连杆，所述连杆一端与所述支撑动平台可转动连接，所述连杆的另一端与传动部件可转动连接。本实用新型热偶升降装置可对热偶进行三个方向的移动，节约人力，操作方便。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人郝琪;林欣家;董金卫;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201320471430.2
- 申请时间2013年08月02日
- 申请公布号CN203465015U
- 申请公布时间2014年03月05日
- 分类号G01K1/14(2006.01)I;G01K7/02(2006.01)I;C30B31/00(2006.01)I;
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