摘要：本实用新型公开了一种基于表面光电压法的半导体材料参数测试仪，该测试仪包括箱体、悬臂、测量探头、样品台，测量探头内包括红外激光器、感应电极片。脉冲光源驱动器位于箱体内，待测半导体材料样品放置在样品台上，测量探头在待测样品的正上方，感应电极片与电荷放大器之间通过同轴电缆线连接，红外激光器与脉冲光源驱动器之间通过两芯屏蔽线连接。其测试方法是：红外激光器发射的脉冲光垂直照射在样品上，感应电极片接收样品表面微弱光电压产生的静电荷，并传送至电荷放大器的输入端，经信号处理电路处理后，由液晶显示屏显示待测样品的导电类型及电阻率/方阻数值。本实用新型具有体积小、重量轻、功耗小、成本低的优点。
- 专利类型实用新型
- 申请人广州市昆德科技有限公司;
- 发明人王昕;冯小明;田蕾;
- 地址510650 广东省广州市天河区白沙水路123号东门三楼
- 申请号CN201320554914.3
- 申请时间2013年09月06日
- 申请公布号CN203433085U
- 申请公布时间2014年02月12日
- 分类号G01R31/26(2014.01)I;
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