摘要：本实用新型公开了一种激光硅片切割夹具，包括底座、支撑杆、支撑面、硅片吸杆和吸气管，所述底座面和所述支撑面平行，且通过所述支撑杆连接，所述支撑面为圆环形；所述底座上设置若干根平行于所述支撑杆的硅片吸杆，所述硅片吸杆顶端面设有吸盘；所述底座面上设有吸气管，所述底座侧面还设有吸气接口，所述吸气管和所述吸气接口通过底座内部连通。本实用新型通过吸附功能的硅片吸杆将硅片牢牢吸附在夹具支撑面上，同时设置吸气管在切割过程中吹气保证了切割边缘的完整性，结构简单、操作方便而且极具实用性。
- 专利类型实用新型
- 申请人武汉瑞丰光电技术有限公司;
- 发明人廖卫宁;李必刚;陈燎原;
- 地址430073 湖北省武汉市东湖开发区关山二路特1号国际企业中心
- 申请号CN201320441408.3
- 申请时间2013年07月23日
- 申请公布号CN203401254U
- 申请公布时间2014年01月22日
- 分类号B23K37/04(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;
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