摘要：本实用新型涉及一种转速精密在线测量系统，包括光学干涉测量系统模块、数据采集模块和数据解析和结果表示模块，所述光学干涉测量系统模块包括准直用激光光源、测量用扫描激光光源、波分耦合器、光纤环形器、光波分光光纤、与数据采集模块相连的检测器和设置在转盘上的反射镜，波分耦合器的一端分别与准直用激光光源和所述检测器相连，波分耦合器的另一端与光波分光光纤相连，光纤环形器的一端分别与测量用扫描激光光源和检测器相连，光纤环形器的另一端与光波分光光纤相连，所述光波分光光纤的两个出光口的前方均设有透镜。本实用新型的有益效果为：结构简单、操作方便，具有非接触、测量的精度和灵敏度高等优点。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京普瑞微纳科技有限公司;
- 发明人雷枫;李少博;文孝明;
- 地址100085 北京市海淀区中关村东路95号8号楼415室
- 申请号CN201320162592.8
- 申请时间2013年04月03日
- 申请公布号CN203324296U
- 申请公布时间2013年12月04日
- 分类号G01P3/36(2006.01)I;
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