摘要：本实用新型公开一种用于真空镀膜设备的真空阀，属真空镀膜设备的控制阀领域。该真空阀包括：阀体、气缸和阀盖；阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、低真空泵连接口和高真空泵连接口，真空容器连接口经阀体内与低真空泵连接口、高真空泵连接口连通；阀体上设置气缸，气缸与阀体连接处密封连接；气缸的气缸轴伸入到阀体内，气缸轴设有阀盖，阀盖朝向高真空泵连接口，能在气缸轴驱动下关闭或打开高真空泵连接口。该真空阀可同时连接低真空泵和高真空泵，可控制所连接的高真空泵通路的开通与关闭，以高真空泵来增大抽真空的抽速，从而对阀体所连接的真空镀膜设备的真空容器更快的抽真空，使其能更快的达到高真空状态。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人王燕;侯荣华;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
- 申请号CN201320287251.3
- 申请时间2013年05月23日
- 申请公布号CN203307431U
- 申请公布时间2013年11月27日
- 分类号C23C14/56(2006.01)I;
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