摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的铰链机构，属于真空镀膜设备用连接部件领域。该铰链机构包括：铰链座、转轴、铰链和轴用弹性挡圈；其中，所述铰链座上设有转轴和连接真空室的螺钉；所述铰链设置在所述铰链座的转轴上，能绕所述转轴转动，铰链上设有连接真空室门的螺钉；所述转轴一端为台阶轴，另一端设有使转轴固定在所述铰链座的轴安装孔内的轴用弹性挡圈。该铰链机构结构简单、轻便、稳固性好且安装方便，使真空镀膜设备的真空室门容易装配，从而降低了真空镀膜设备的制造成本。并且使用中也方便了真空室门的开启与关闭，保证了镀膜室的真空密封，保证了镀膜工艺的顺利进行。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人徐建龙;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
- 申请号CN201320287751.7
- 申请时间2013年05月23日
- 申请公布号CN203307420U
- 申请公布时间2013年11月27日
- 分类号C23C14/22(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;E05D3/02(2006.01)I;
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