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    一种气质联用仪载气控制气路装置

      摘要:本实用新型涉及一种气质联用仪。本实用新型公开了一种气质联用仪载气控制气路装置,其中,质量流量计一通过T型三通一与电磁阀二的一端连接,电磁阀二的另一端与汽化室连接,T型三通一还与电磁阀一的一端连接,电磁阀一的另一端与T型三通二连接,T型三通二还与汽化室的载气入口连接,T型三通二还与压力传感器的一端连接,压力传感器另一端通过质量流量计二与稳流阀的出气口连接,稳流阀还连接一个指针式压力表,针型阀连接在汽化室的吹扫气出口端用于调节吹扫气的流量,汽化室还与毛细柱连接。本实用新型能实现压力/流量控制、横流恒压模式控制、温度流速补偿,能明显降低分流状态电磁阀切换时的压力/流量波动和反应时间慢的问题。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人北京东西分析仪器有限公司;
    • 发明人李选培;
    • 地址100078 北京市门头沟区石龙经济开发区上园路3号
    • 申请号CN201320303090.2
    • 申请时间2013年05月29日
    • 申请公布号CN203259512U
    • 申请公布时间2013年10月30日
    • 分类号G01N30/32(2006.01)I;