摘要:本实用新型公开一种耐腐蚀分子泵,包括设置有通道的泵体,所述通道的一端为吸气口,另一端为排气口;通道内设置有转轴,套设于转轴外的转子,以及连通吸气口和排气口的抽气机构;转子朝向转轴支撑端的一端与转轴支撑端配合形成有密封气体通道;转轴支撑端的端面上设置有叶槽轮,叶槽轮朝向转子的端面上设置有多个槽谷,多个槽谷的旋向与转子的转动方向一致。转子以适当转速转动时,叶槽轮与转子牵引面之间将形成密封气体的动密封结构并产生单向抽气的功能,使得密封气体从转轴的轴系腔通过密封气体通道流向分子泵的排气口,从而阻挡腐蚀性气体进入轴系腔,实现腐蚀性气体良好的密封隔离效果,并且该分子泵结构简单并具有广泛适用性。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;
- 发明人范斌;邓高飞;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201220721315.1
- 申请时间2012年12月24日
- 申请公布号CN203114662U
- 申请公布时间2013年08月07日
- 分类号F04D19/04(2006.01)I;F04D29/32(2006.01)I;