摘要：本实用新型涉及一种气相沉积设备。本实用新型的一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置，所述装置包括一石英管，所述石英管输入端通过法兰连接有充气系统，所述石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统，所述石英管外包围有加热炉膛。本实用新型的化学气相沉积装置可兼容常压与真空两种制备石墨烯薄膜的工艺，可实现自限制与渗析两种不同机理的石墨烯薄膜生长方式，实现整个石墨烯薄膜生长过程的实时监控和全自动化。
- 专利类型实用新型
- 申请人厦门烯成新材料科技有限公司;
- 发明人刘长江;连榕;
- 地址361000 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S301C室
- 申请号CN201220500089.4
- 申请时间2012年09月28日
- 申请公布号CN202913056U
- 申请公布时间2013年05月01日
- 分类号C23C16/26(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;
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