摘要：本实用新型公开了一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体，所述的分子泵泵体上分别设有两个中间进气口和一个分子排气口，所述的分子泵泵体上分子排气口处还设有分子泵破空阀，所述的分子泵破空阀还连接有过滤一体化节流装置。本实用新型结构简单，所用材料为常规材料，成本低，延长了分子泵的使用寿命，能使分子泵在停止工作后从高转速快速降至停止状态。
- 专利类型实用新型
- 申请人安徽皖仪科技股份有限公司;
- 发明人张志;胡眉;
- 地址230088 安徽省合肥市高新区天达路71号华亿科技园B幢皖仪大厦
- 申请号CN201220257850.6
- 申请时间2012年06月02日
- 申请公布号CN202732472U
- 申请公布时间2013年02月13日
- 分类号F04D29/40(2006.01)I;F04D29/00(2006.01)I;F04D29/70(2006.01)I;
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