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    一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置

      摘要:本实用新型涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置,所述装置包含有激光刻蚀设备,所述激光刻蚀设备包含有激光器(1)、光闸(2)、1/2波片(3)、格兰棱镜(4)、扩束镜(5)、全反镜片(6)、振镜系统(7)和远心场镜(8),所述激光器(1)发出的激光经过电动光闸(2)进入扩束镜(5)进行同轴扩束,经扩束镜(5)扩束后的激光到达全反镜片(6),经全反镜片(6)反射后的激光经由1/2波片(3)和格兰棱镜(4)后射入振镜系统(7),射出振镜系统(7)经远心场镜(8)聚焦到作为待加工件(12)的有机玻璃的导电膜层上。本实用新型涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置,加工简单、效率高且无需耗材。
    • 专利类型实用新型
    • 申请人江阴德力激光设备有限公司;
    • 发明人赵裕兴;狄建科;张伟;益凯劼;张子国;蔡仲云;闫华;
    • 地址214434 江苏省无锡市江阴市城东街道金山路201号数码港C座1楼
    • 申请号CN201220266390.3
    • 申请时间2012年06月07日
    • 申请公布号CN202667928U
    • 申请公布时间2013年01月16日
    • 分类号B23K26/36(2006.01)I;B23K26/04(2006.01)I;B23K26/03(2006.01)I;B23K26/14(2006.01)I;